ASML już projektuje maszyny Hyper-NA EUV – wejdą na rynek w 2030 roku
Holenderska firma ASML, lider w produkcji maszyn do litografii ekstremalnego ultrafioletu (EUV), ogłosiła plany rozwoju nowej technologii Hyper-NA. Zwiększy ona precyzję i gęstość tranzystorów w układach scalonych, przesuwając granice miniaturyzacji chipów.
W trakcie konferencji ITF World w Antwerpii Martin van den Brink, były prezes ASML, zaprezentował koncepcję Hyper-NA EUV, która jest obecnie w fazie wczesnych badań. Nowa technologia ma zwiększyć aperturę numeryczną (NA) z obecnych 0,55 do 0,75, co pozwoli na dalsze zmniejszenie rozmiarów elementów układów scalonych i zwiększenie ich gęstości.
Jedyna wyprodukowana na razie maszyna High-NA, która obecnie jest instalowana w zakładach Intela w Oregonie, umożliwia wytwarzanie układów w procesach poniżej 2 nm. Amerykański gigant planuje wykorzystanie tej technologii w procesach produkcyjnych dla układów w technologii 18A, co odpowiada 2 nm w tajwańskim TSMC.
Technologię Hyper-NA czeka jeszcze kilka wyzwań
Kurt Ronse, dyrektor programu zaawansowanego wzorcowania w Imec, zwrócił uwagę na konieczność pokonania wyzwań związanych z polaryzacją światła, która zmniejsza kontrast przy wyższych wartościach NA. Problem ten można rozwiązać za pomocą polaryzatorów, jednak wiąże się to ze zwiększeniem kosztów produkcji i obniżeniem efektywności energetycznej.
Jeśli przekroczysz wartość 0,55, bardzo szybko zauważysz, że polaryzacja zabija kontrast, ponieważ w pewnych sytuacjach praktycznie zupełnie blokuje światło — powiedział Ronse.
Aby tego uniknąć, potrzebne byłyby polaryzatory.
Przewiduje się, że technologia Hyper-NA, planowana na rok 2030, umożliwi dalsze zwiększenie precyzji produkcji układów scalonych, eliminując potrzebę skomplikowanego i kosztownego procesu wielokrotnego naświetlania, który jest obecnie stosowany przez TSMC. Ponadto nowe rozwiązania mogą przyczynić się do redukcji kosztów produkcji i zwiększenia wydajności dzięki bardziej zaawansowanym systemom optycznym i szybszym etapom obróbki wafli krzemowych.
Rozwój technologii Hyper-NA EUV może znacząco wpłynąć na przyszłość produkcji układów scalonych, umożliwiając dalszą miniaturyzację i zwiększenie wydajności nowych generacji procesorów. Zapotrzebowanie na moc obliczeniową, zwłaszcza w dobie AI, gwałtownie rośnie, więc nowe maszyny na pewno będą miały co robić.
Źródło: Simmtester
Miłośnik nowoczesnych technologii, głównie nowych rozwiązań IT. Redaktor w czasopismach Gambler, Enter, PC Kurier, Telecom Forum, Secret Service, Click!, Komputer Świat Gry, Play, GameRanking. Wiele lat spędził w branży tłumaczeniowej – głównie gier i programów użytkowych. W wolnych chwilach lata szybowcem, jeździ na rowerze i pochłania duże ilości książek.
